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課程簡介 Course Introduction
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開課年度學期 Year / Term
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114 學年度 第 1 學期
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開課班級 Department
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理工學院智慧製造碩士在職學位學程 理工學院智慧製造碩士在職學位學程碩士合
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授課方式 Instructional Method
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課堂教學 、 中文
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課程電腦代號 Course Reference Number
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280008
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課程名稱(中文) Course Title(Chinese)
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半導體製程技術
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課程名稱(英文) Course Title(English)
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Semiconductor Manufacturing Technology
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學分數/時數 Credit Hours
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3 /
3
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必(選)修 Requirement / Elective Course
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選修
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授課老師 Instructor
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林男明
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助教 Teaching Assistant
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上課時間 Meeting Time
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星期四，節次C、D、E
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上課教室 Classroom
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ZA206
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Office Hours
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| 獲獎及補助情形 Awards and Grants |
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| 聯合國永續發展目標 (SDGs跨域類別) Sustainable Development Goals, SDGs |
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SDGs 09.
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工業化、創新及基礎建設：建立具有韌性的基礎建設，促進包容且永續的工業，並加速創新
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課程目標 Learning Objectives
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介紹半導體製程相關加工技術，使學生熟悉加工原理與應用。
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先修 ( 前置 ) 課程 Prerequisite
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| 彈性教學規劃 Flexible Teaching/Planning Schedules |
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課程大綱 Course Syllabus
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| 週次 Week |
課程單元大綱 Unit |
教學方式 Instructional Method/Style/Teaching Style |
參考資料或相關作業 References or Related Materials |
評量方式 Grading |
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1
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導論
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講述/教室
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2
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積體電路製程介紹
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講述/教室
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3
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半導體基礎
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講述/教室
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4
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晶圓製造
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講述/教室
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5
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加熱製程
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講述/教室
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6
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微影製程
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講述/教室
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7
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電漿製程
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講述/教室
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8
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離子佈植製程
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講述/教室
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9
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期中考
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期中報告
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10
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蝕刻製程
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講述/教室
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11
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化學氣相沉積與介電質薄膜
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講述/教室
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12
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金屬化製程
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講述/教室
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13
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化學機械研磨製程
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講述/教室
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14
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半導體製程整合
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講述/教室
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15
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IC製程技術
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講述/教室
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16
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3D IC元件的製造過程
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講述/教室
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17
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總結與未來趨勢
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講述/教室
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18
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期末考
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期末報告
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單一課程對應校能力指標程度 The Degree to Which Single Course Corresponds to School Competence
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| 編號 No. |
校核心能力 School Core Competencies |
符合程度 Degree of conformity |
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1
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公民力 (Citizen)
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2
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2
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自學力 (Self-learning)
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3
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3
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資訊力 (Information)
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3
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4
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創造力 (Creativity)
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3
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5
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溝通力 (Communication)
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3
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6
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就業力(Employability)
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3
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單一課程對應系能力指標程度 The Degree to Which Single Course Corresponds to Department Competence
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| 編號 No. |
類別 Category |
系核心能力 Department Core Competencies |
符合程度 Degree of conformity |
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01
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系所
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智慧製造工程問題分析與解決能力
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3
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02
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系所
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系統整合所需之智慧製造軟硬體專業能力
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1
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03
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系所
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工程設計與評估能力
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3
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04
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系所
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工程創新與研發管理能力
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2
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單一課程對應院能力指標程度 The Degree to Which Single Course Corresponds to College Competence
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| 編號 No. |
院核心能力 College Core Competencies |
符合程度 Degree of conformity |
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1
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語文能力
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2
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2
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溝通與合作能力
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3
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3
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創新與實踐能力
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3
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4
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專業知能
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3
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教科書或參考用書 Textbooks or Reference Books
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館藏書名 Library Books
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備註 Remarks
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書名:半導體製程技術導論
作者:蕭宏
年份:2025
ISBN:978-626-401-223-2
出版社：全華圖書
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※請尊重智慧財產權，不得非法影印教科書※
※ Please respect intellectual property rights and do not illegally photocopy textbooks. ※
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教學方法 Teaching Method
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教學方法 Teaching Method
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百分比 Percentage
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講述
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100 %
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| 總和 Total |
100 % |
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成績評量方式 Grading
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| 評量方式 Grading |
百分比 Percentage |
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期中報告
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50 %
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期末報告
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50 %
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| 總和 Total |
100 % |
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課程大綱補充資料 Supplementary Material of Course Syllabus
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