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課程簡介 Course Introduction
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開課年度學期 Year / Term
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114 學年度 第 2 學期
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開課班級 Department
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電機工程學系碩士班 電機系碩博班合選
Master Program, Department of Electrical Engineering
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授課方式 Instructional Method
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課堂教學 、 中文
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課程電腦代號 Course Reference Number
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182050
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課程名稱(中文) Course Title(Chinese)
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真空技術
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課程名稱(英文) Course Title(English)
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Vacuum Technology
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學分數/時數 Credit Hours
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3 /
3
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必(選)修 Required / Elective Course
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選修 Elective
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授課老師 Instructor
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吳世雄
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助教 Teaching Assistant
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上課時間 Meeting Time
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星期二，節次3
Tue, Period 3、4、5
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上課教室 Classroom
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ZB204
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Office Hours
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| 獲獎及補助情形 Awards and Grants |
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| 聯合國永續發展目標 (SDGs跨域類別) Sustainable Development Goals, SDGs |
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課程目標 Learning Objectives
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本課程旨在使學生全面理解真空技術之基本原理、系統設計與實務應用，透過由氣體分子行為、真空壓力與流態的理論基礎出發，進一步探討各類真空泵浦原理與操作、真空壓力測量方法、真空系統之計算與分析，以及真空系統的測漏、清潔與維護等重要技術面向 。課程內容涵蓋氣體理論與真空範圍、真空生成與泵浦選用、真空量測儀器與校正、真空系統設計計算、漏洩測試與污染控制，以及典型真空製程與鍍膜等實際應用。學生經由理論講授與案例分析，應能掌握真空系統的組建與維護技能，理解真空技術在科研、製造與高科技工業（例如半導體製程、薄膜沉積、材料加工等）中的關鍵角色，並具備分析、設計與解決真空相關工程問題之能力。
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先修 ( 前置 ) 課程 Prerequisite
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無
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| 彈性教學規劃 Flexible Teaching/Planning Schedules |
| ＊本課程實施16+2週彈性教學方案，其中第17、18週之彈性規劃如下： |
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自主學習
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課程大綱 Course Syllabus
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| 週次 Week |
課程單元大綱 Unit |
教學方式 Instructional Method/Style/Teaching Style |
參考資料或相關作業 References or Related Materials |
評量方式 Grading |
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1
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課程規定講解
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課程講述
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2
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真空基本觀念
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課程講述
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3
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產生真空的方法
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課程講述
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4
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產生真空的方法
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課程講述
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5
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產生真空的方法
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課程講述
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6
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文獻心得報告
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個人口頭報告
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7
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因校慶調整放假(暫停一次)
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8
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文獻心得報告
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個人口頭報告
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9
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產生真空的方法(期中考週)
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課程講述
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10
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真空量測
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課程講述
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11
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真空系統與計算
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課程講述
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12
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測漏技術與清潔方法
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課程講述
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13
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真空製程
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課程講述
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14
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真空製程
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課程講述
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15
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文獻心得報告
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個人口頭報告
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16
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文獻心得報告
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個人口頭報告
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17
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(提供教材，讓學生自主學習)
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自主學習
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18
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期末考週(提供教材，讓學生自主學習)
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自主學習
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單一課程對應校能力指標程度 The Degree to Which Single Course Corresponds to School Competence
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| 編號 No. |
校核心能力 School Core Competencies |
符合程度 Degree of conformity |
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1
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公民力 (Citizen)
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0
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2
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自學力 (Self-learning)
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5
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3
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資訊力 (Information)
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5
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4
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創造力 (Creativity)
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2
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5
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溝通力 (Communication)
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5
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6
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就業力(Employability)
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2
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單一課程對應系能力指標程度 The Degree to Which Single Course Corresponds to Department Competence
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| 編號 No. |
類別 Category |
系核心能力 Department Core Competencies |
符合程度 Degree of conformity |
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01
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系所
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具備專業知識運作及運用之能力
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5
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02
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系所
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發掘問題、實驗分析及驗證之能力
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0
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03
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系所
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創新思考開發之能力
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0
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04
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系所
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協調合作、領導團隊與管理規劃之能力
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0
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05
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系所
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中英文寫作與簡報之能力
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5
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06
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系所
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強化國際觀與國際交流之能力
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0
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單一課程對應院能力指標程度 The Degree to Which Single Course Corresponds to College Competence
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| 編號 No. |
院核心能力 College Core Competencies |
符合程度 Degree of conformity |
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1
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語文能力
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3
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2
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溝通與合作能力
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5
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3
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創新與實踐能力
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2
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4
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專業知能
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5
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教科書或參考用書 Textbooks or Reference Books
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館藏書名 Library Books
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備註 Remarks
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ＩＳＢＮ：978-957-11-3478-9
書名:真空技術精華
作 者：蘇青森
出版社別：五南
出版日期：2023/01/01
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※請尊重智慧財產權，不得非法影印教科書※
※ Please respect intellectual property rights and do not illegally photocopy textbooks. ※
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教學方法 Teaching Method
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教學方法 Teaching Method
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百分比 Percentage
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講述
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80 %
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分享
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20 %
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| 總和 Total |
100 % |
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成績評量方式 Grading
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| 評量方式 Grading |
百分比 Percentage |
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出席狀況
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10 %
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個人口頭報告
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50 %
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個人書面報告
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40 %
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| 總和 Total |
100 % |
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課程大綱補充資料 Supplementary Material of Course Syllabus
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