|
|
課程簡介 Course Introduction
|
|
開課年度學期 Year / Term
|
113 學年度 第 1 學期
|
|
開課班級 Department
|
電機工程學系 電機四 電機碩合
|
|
授課方式 Instructional Method
|
課堂教學 、 中文
|
|
課程電腦代號 Course Reference Number
|
182013
|
|
課程名稱(中文) Course Title(Chinese)
|
先進半導體製程技術
|
|
課程名稱(英文) Course Title(English)
|
Advanced Semiconductor Manufacturing Technology
|
|
學分數/時數 Credit Hours
|
3 /
3
|
|
必(選)修 Requirement / Elective Course
|
選修
|
|
授課老師 Instructor
|
許正良
|
|
助教 Teaching Assistant
|
|
|
上課時間 Meeting Time
|
星期二，節次7、8、9
|
|
上課教室 Classroom
|
ZB209
|
|
Office Hours
|
|
| 獲獎及補助情形 Awards and Grants |
|
|
| 聯合國永續發展目標 (SDGs跨域類別) Sustainable Development Goals, SDGs |
|
SDGs 04.
|
優質教育：確保有教無類、公平以及高品質的教育，及提倡終身學習
|
|
SDGs 08.
|
合適的工作及經濟成長：促進包容且永續的經濟成長，讓每個人都有一份好工作
|
|
SDGs 09.
|
工業化、創新及基礎建設：建立具有韌性的基礎建設，促進包容且永續的工業，並加速創新
|
|
|
課程目標 Learning Objectives
|
|
學生清楚了解到半導體之重要製程步驟，對於半導體工廠有基礎認識，並且可以將基礎重要之製程步驟加以描述，最後能清楚將半導體製程整合製程步驟，全部清楚描述，並且加以記憶及應用。
|
|
先修 ( 前置 ) 課程 Prerequisite
|
|
半導體物理與元件、半導體概論、普通物理、普通化學、電子學
|
| 彈性教學規劃 Flexible Teaching/Planning Schedules |
| ＊本課程實施16+2週彈性教學方案，其中第17、18週之彈性規劃如下： |
|
|
課程大綱 Course Syllabus
|
| 週次 Week |
課程單元大綱 Unit |
教學方式 Instructional Method/Style/Teaching Style |
參考資料或相關作業 References or Related Materials |
評量方式 Grading |
|
1
|
Chapter1-Introduction
|
線上授課連結https://meet.google.com/oot-xppa-xdm
|
作業1
|
|
|
2
|
Chapter2-Introduction to IC fabrication
|
線上授課連結https://meet.google.com/oot-xppa-xdm
|
作業2
|
|
|
3
|
Chapter3-Semiconductor basics
|
課堂面授-PowerPoint
|
作業3
|
|
|
4
|
Chapter4-Wafer manufacturing
|
課堂面授-PowerPoint
|
作業4
|
|
|
5
|
Chapter5-Thermal process
|
課堂面授-PowerPoint
|
作業5
|
ch1-5分組討論
|
|
6
|
Chapter6-Photolithgraphy
|
課堂面授-PowerPoint
|
作業6
|
|
|
7
|
Chapter7-Plasma basics
|
課堂面授-PowerPoint
|
作業7
|
|
|
8
|
Chapter8-Ion Implantation
|
課堂面授-PowerPoint
|
作業8
|
ch6-8分組討論
|
|
9
|
期中考
|
期中報告
|
|
章節複習及期中考(Review and Mid-term Exam.)
|
|
10
|
Chapter9-Etch
|
課堂面授-PowerPoint
|
作業9
|
|
|
11
|
Chapter10-CVD and dielectric thin film
|
課堂面授-PowerPoint
|
作業10
|
|
|
12
|
Chapter11-Metallization
|
課堂面授-PowerPoint
|
作業11
|
|
|
13
|
Chapter12-CMP
|
課堂面授-PowerPoint
|
作業12
|
|
|
14
|
Chapter13-Process integration
|
課堂面授-PowerPoint
|
作業13
|
ch9-13分組討論
|
|
15
|
Chapter14-CMOS process
|
課堂面授-PowerPoint
|
作業14
|
|
|
16
|
Chapter14-CMOS process
|
課堂面授-PowerPoint
|
作業14
|
|
|
17
|
Chapter15-Summary and Future Trends
|
課堂面授-PowerPoint
|
作業
|
ch14分組討論
|
|
18
|
期末考
|
期末報告
|
|
章節複習及期末考(Review and Final Exam.)
|
|
單一課程對應校能力指標程度 The Degree to Which Single Course Corresponds to School Competence
|
| 編號 No. |
校核心能力 School Core Competencies |
符合程度 Degree of conformity |
|
1
|
公民力 (Citizen)
|
2
|
|
2
|
自學力 (Self-learning)
|
5
|
|
3
|
資訊力 (Information)
|
4
|
|
4
|
創造力 (Creativity)
|
4
|
|
5
|
溝通力 (Communication)
|
3
|
|
6
|
就業力(Employability)
|
5
|
|
單一課程對應系能力指標程度 The Degree to Which Single Course Corresponds to Department Competence
|
| 編號 No. |
類別 Category |
系核心能力 Department Core Competencies |
符合程度 Degree of conformity |
|
01
|
系所
|
運用數理、邏輯及基本電機之能力
|
5
|
|
02
|
系所
|
熟悉電機軟硬體專業技術之能力
|
4
|
|
03
|
系所
|
獨立思考、主動求知與研究創新之能力
|
4
|
|
04
|
系所
|
培養實作與分析實驗成果之能力
|
4
|
|
05
|
系所
|
理解社會責任與學術倫理之能力
|
3
|
|
06
|
系所
|
有效溝通表達與團隊合作之能力
|
2
|
|
07
|
系所
|
中英文語文及寫作之能力
|
5
|
|
08
|
系所
|
資訊蒐集、分析及彙整之能力
|
5
|
|
單一課程對應院能力指標程度 The Degree to Which Single Course Corresponds to College Competence
|
| 編號 No. |
院核心能力 College Core Competencies |
符合程度 Degree of conformity |
|
1
|
語文能力
|
5
|
|
2
|
溝通與合作能力
|
3
|
|
3
|
創新與實踐能力
|
4
|
|
4
|
專業知能
|
5
|
|
教科書或參考用書 Textbooks or Reference Books
|
|
館藏書名 Library Books
|
|
備註 Remarks
|
（一）主要讀本：
作者＝James D. Plummer, Michael D. Deal, Peter B. Griffin．書名＝Silicon VLSI Technology．出版商＝Prentice Hall．發行地＝美國．出版年份＝2001
（二）參考書目：
作者＝Hong Xiao．書名＝Intrduction to Semiconductor Manufacturing Technology．出版商＝Prentice Hall．發行地＝美國．出版年份＝2001
作者＝Hong Xaio著 羅正忠 張鼎張譯．書名＝半導體製程技術導論．版別＝第二版．出版商＝學銘圖書有限公司．發行地＝台北市．出版年份＝2004
|
※請尊重智慧財產權，不得非法影印教科書※
※ Please respect intellectual property rights and do not illegally photocopy textbooks. ※
|
教學方法 Teaching Method
|
|
教學方法 Teaching Method
|
百分比 Percentage
|
|
講述
|
70 %
|
|
討論
|
10 %
|
|
報告
|
20 %
|
| 總和 Total |
100 % |
|
成績評量方式 Grading
|
| 評量方式 Grading |
百分比 Percentage |
|
期中報告
|
45 %
|
|
期末報告
|
45 %
|
|
平日課堂表現
|
10 %
|
| 總和 Total |
100 % |
|
成績評量方式補充說明
|
期中報告45%
期末報告45%
平日課堂表現10%
|
|
課程大綱補充資料 Supplementary Material of Course Syllabus
|
|
|
|