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課程簡介 Course Introduction
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開課年度學期 Year / Term
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113 學年度 第 1 學期
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開課班級 Department
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電機工程學系碩士班 電機系碩博班合選
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授課方式 Instructional Method
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課堂教學 、 中文
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課程電腦代號 Course Reference Number
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182011
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課程名稱(中文) Course Title(Chinese)
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半導體量測儀器分析
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課程名稱(英文) Course Title(English)
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Semiconductor Measurement and Instrument
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學分數/時數 Credit Hours
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3 /
3
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必(選)修 Requirement / Elective Course
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選修
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授課老師 Instructor
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許正良
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助教 Teaching Assistant
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上課時間 Meeting Time
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星期三，節次7、8、9
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上課教室 Classroom
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ZB209
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Office Hours
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| 獲獎及補助情形 Awards and Grants |
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| 聯合國永續發展目標 (SDGs跨域類別) Sustainable Development Goals, SDGs |
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SDGs 04.
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優質教育：確保有教無類、公平以及高品質的教育，及提倡終身學習
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SDGs 08.
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合適的工作及經濟成長：促進包容且永續的經濟成長，讓每個人都有一份好工作
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SDGs 09.
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工業化、創新及基礎建設：建立具有韌性的基礎建設，促進包容且永續的工業，並加速創新
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課程目標 Learning Objectives
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半導體量測儀器分析，主要為介紹半導體主要使用之電子顯微鏡(SEM)、穿透式電子顯微鏡(TEM)、XRD、PL、EL、AFM、EMMI、LC等。讓學生能瞭解這些設備，進而將來工作上熟用、活用於研發上。利用設備進行半導體之雜質特性(p-type、n-typ、p-n junction)量測、材料之擴散係數、載子的生命期量測、晶體組成成份及其結構分析、電氣特性量測、光學特性分析等。
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先修 ( 前置 ) 課程 Prerequisite
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半導體概論、普通物理、普通化學、電子學
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| 彈性教學規劃 Flexible Teaching/Planning Schedules |
| ＊本課程實施16+2週彈性教學方案，其中第17、18週之彈性規劃如下： |
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課程大綱 Course Syllabus
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| 週次 Week |
課程單元大綱 Unit |
教學方式 Instructional Method/Style/Teaching Style |
參考資料或相關作業 References or Related Materials |
評量方式 Grading |
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1
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Chapter1-Crystal Orientation
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線上授課連結https://meet.google.com/njd-sbgc-ajh
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作業1
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2
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Chapter2-Crystal Defects
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線上授課連結https://meet.google.com/njd-sbgc-ajh
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作業2
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3
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Chapter3-Impurity Concentration
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課堂面授-PowerPoint
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作業3
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4
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Chapter4-Resistivity, Sheet Resistance and Contact Resistance
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課堂面授-PowerPoint
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作業4
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Chapter1-4章分組報告
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5
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Chapter5-Mobility, Conductivity Type, and Hall effect
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課堂面授-PowerPoint
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作業5
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6
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Chapter6-Carrier Lifetime
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課堂面授-PowerPoint
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作業6
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7
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Chapter7-Film Thickness
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課堂面授-PowerPoint
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作業7
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8
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Chapter8-Wafer-Oriented Measurements
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課堂面授-PowerPoint
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作業8
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9
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期中考
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期中報告
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章節複習及期中考(Review and Mid-term Exam.)
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10
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Chapter9-Optical Microscopy
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課堂面授-PowerPoint
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作業9
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11
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Chapter10-Scanning Electron Microscopy
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課堂面授-PowerPoint
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作業10
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12
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Chapter11-Electron Probe Micro-ananlysis
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課堂面授-PowerPoint
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作業11
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13
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Chapter12-Transmission Electron Microscopy
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課堂面授-PowerPoint
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作業12
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14
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Chapter13-Auger Electron Spectroscopy
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課堂面授-PowerPoint
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作業13
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15
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Chapter14-Scanning Probe Microscopy
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課堂面授-PowerPoint
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作業14
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16
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Chapter15-Secondary Ion Mass Spectrometry
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課堂面授-PowerPoint
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作業15
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17
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Chapter16- Secondary Ion Mass Spectrometry
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課堂面授-PowerPoint
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作業16
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18
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期末考
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期末報告
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章節複習及期末考(Review and Final Exam.)
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單一課程對應校能力指標程度 The Degree to Which Single Course Corresponds to School Competence
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| 編號 No. |
校核心能力 School Core Competencies |
符合程度 Degree of conformity |
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1
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公民力 (Citizen)
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2
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2
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自學力 (Self-learning)
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5
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3
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資訊力 (Information)
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4
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4
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創造力 (Creativity)
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4
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5
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溝通力 (Communication)
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3
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6
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就業力(Employability)
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5
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單一課程對應系能力指標程度 The Degree to Which Single Course Corresponds to Department Competence
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| 編號 No. |
類別 Category |
系核心能力 Department Core Competencies |
符合程度 Degree of conformity |
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01
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系所
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具備專業知識運作及運用之能力
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4
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02
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系所
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發掘問題、實驗分析及驗證之能力
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3
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03
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系所
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創新思考開發之能力
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3
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04
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系所
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協調合作、領導團隊與管理規劃之能力
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3
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05
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系所
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中英文寫作與簡報之能力
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5
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06
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系所
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強化國際觀與國際交流之能力
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4
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單一課程對應院能力指標程度 The Degree to Which Single Course Corresponds to College Competence
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| 編號 No. |
院核心能力 College Core Competencies |
符合程度 Degree of conformity |
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1
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語文能力
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5
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2
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溝通與合作能力
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3
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3
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創新與實踐能力
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4
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4
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專業知能
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5
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教科書或參考用書 Textbooks or Reference Books
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館藏書名 Library Books
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備註 Remarks
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作者＝Runyan, W. R./ Shaffner, T. J., Jr．書名＝Semiconductor Measurements and Instrumentation．出版商＝McGraw-Hill．發行地＝美國．出版年份＝1998
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※請尊重智慧財產權，不得非法影印教科書※
※ Please respect intellectual property rights and do not illegally photocopy textbooks. ※
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教學方法 Teaching Method
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教學方法 Teaching Method
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百分比 Percentage
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期中報告
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10 %
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期末報告
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10 %
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講述
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60 %
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討論
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20 %
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| 總和 Total |
100 % |
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成績評量方式 Grading
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| 評量方式 Grading |
百分比 Percentage |
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期中報告
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45 %
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期末報告
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45 %
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平常課堂表現
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10 %
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| 總和 Total |
100 % |
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成績評量方式補充說明
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期中報告30%
期末報告30%
平時作業成績40%
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課程大綱補充資料 Supplementary Material of Course Syllabus
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