|
|
課程簡介 Course Introduction
|
|
開課年度學期 Year / Term
|
113 學年度 第 2 學期
|
|
開課班級 Department
|
材料科學系 材三四合
|
|
授課方式 Instructional Method
|
課堂教學 、 中文
|
|
課程電腦代號 Course Reference Number
|
167061
|
|
課程名稱(中文) Course Title(Chinese)
|
薄膜工程
|
|
課程名稱(英文) Course Title(English)
|
Thin Film Engineering
|
|
學分數/時數 Credit Hours
|
3 /
3
|
|
必(選)修 Requirement / Elective Course
|
選修
|
|
授課老師 Instructor
|
呂英治
|
|
助教 Teaching Assistant
|
|
|
上課時間 Meeting Time
|
星期二，節次8、9、A
|
|
上課教室 Classroom
|
C408
|
|
Office Hours
|
|
| 獲獎及補助情形 Awards and Grants |
|
|
| 聯合國永續發展目標 (SDGs跨域類別) Sustainable Development Goals, SDGs |
|
SDGs 04.
|
優質教育：確保有教無類、公平以及高品質的教育，及提倡終身學習
|
|
|
課程目標 Learning Objectives
|
|
讓學生學習各種乾式及濕式薄膜製程，以應用於各式電子、光電、機械零件上，做為未來進入職場或進一步深造之基石。著重於製程原理及製程實務之介紹，課程涵蓋薄膜沉積、圖案製作及蝕刻等。沉積技術包括轉換式鍍層、物理氣相沉積之濺鍍、化學氣相沉積及電漿於薄膜製程中之應用等。另外也將探討濕式製程之電鍍技術。
|
|
先修 ( 前置 ) 課程 Prerequisite
|
|
基礎材料科學
|
| 彈性教學規劃 Flexible Teaching/Planning Schedules |
|
|
|
課程大綱 Course Syllabus
|
| 週次 Week |
課程單元大綱 Unit |
教學方式 Instructional Method/Style/Teaching Style |
參考資料或相關作業 References or Related Materials |
評量方式 Grading |
|
1
|
薄膜材料及製程概論 (一)
|
口授
|
|
|
|
2
|
薄膜材料及製程概論 (二)
|
口授
|
|
|
|
3
|
氧化形成薄膜 (一)
|
口授
|
|
|
|
4
|
氧化形成薄膜 (二)
|
口授
|
|
|
|
5
|
圖案製作 (一)
|
口授
|
|
|
|
6
|
圖案製作 (二)
|
口授
|
|
|
|
7
|
電漿基礎 (一)
|
口授
|
|
|
|
8
|
電漿基礎 (二)
|
口授
|
|
|
|
9
|
期中考
|
|
|
|
|
10
|
濺鍍 (一)
|
口授
|
|
|
|
11
|
濺鍍 (二)
|
口授
|
|
|
|
12
|
化學氣相沉積 (一)
|
口授
|
|
|
|
13
|
化學氣相沉積 (二)
|
口授
|
|
|
|
14
|
蝕刻 (一)
|
口授
|
|
|
|
15
|
蝕刻 (二)
|
口授
|
|
|
|
16
|
電鍍 (一)
|
口授
|
|
|
|
17
|
電鍍 (二)
|
口授
|
|
|
|
18
|
期末考
|
|
|
|
|
單一課程對應校能力指標程度 The Degree to Which Single Course Corresponds to School Competence
|
| 編號 No. |
校核心能力 School Core Competencies |
符合程度 Degree of conformity |
|
1
|
公民力 (Citizen)
|
1
|
|
2
|
自學力 (Self-learning)
|
3
|
|
3
|
資訊力 (Information)
|
4
|
|
4
|
創造力 (Creativity)
|
1
|
|
5
|
溝通力 (Communication)
|
2
|
|
6
|
就業力(Employability)
|
5
|
|
單一課程對應系能力指標程度 The Degree to Which Single Course Corresponds to Department Competence
|
| 編號 No. |
類別 Category |
系核心能力 Department Core Competencies |
符合程度 Degree of conformity |
|
01
|
系所
|
具備基礎科學概念
|
5
|
|
02
|
系所
|
具備材料專業知識
|
5
|
|
03
|
系所
|
具備材料製備與分析的能力
|
4
|
|
04
|
系所
|
具備中文科學寫作的能力
|
3
|
|
05
|
系所
|
具備英文科學閱讀的能力
|
4
|
|
06
|
系所
|
具備有效溝通與團隊合作的能力
|
3
|
|
07
|
系所
|
能理解專業及社會義務與責任
|
3
|
|
單一課程對應院能力指標程度 The Degree to Which Single Course Corresponds to College Competence
|
| 編號 No. |
院核心能力 College Core Competencies |
符合程度 Degree of conformity |
|
1
|
語文能力
|
4
|
|
2
|
溝通與合作能力
|
3
|
|
3
|
創新與實踐能力
|
5
|
|
4
|
專業知能
|
5
|
|
教科書或參考用書 Textbooks or Reference Books
|
|
館藏書名 Library Books
|
|
備註 Remarks
|
|
Peter M. Martin, Handbook of Deposition Technologies for Films and Coatings (2nd Edition), 2005, Elsevier Inc.
|
※請尊重智慧財產權，不得非法影印教科書※
※ Please respect intellectual property rights and do not illegally photocopy textbooks. ※
|
教學方法 Teaching Method
|
|
教學方法 Teaching Method
|
百分比 Percentage
|
|
講述
|
80 %
|
|
討論
|
20 %
|
| 總和 Total |
100 % |
|
成績評量方式 Grading
|
| 評量方式 Grading |
百分比 Percentage |
|
期中考
|
40 %
|
|
期末考
|
40 %
|
|
課堂參與
|
20 %
|
| 總和 Total |
100 % |
|
課程大綱補充資料 Supplementary Material of Course Syllabus
|
|
|
|