|
|
課程簡介 Course Introduction
|
|
開課年度學期 Year / Term
|
113 學年度 第 1 學期
|
|
開課班級 Department
|
材料科學系碩士班 材碩士合
|
|
授課方式 Instructional Method
|
課堂教學 、 中文
|
|
課程電腦代號 Course Reference Number
|
167005
|
|
課程名稱(中文) Course Title(Chinese)
|
薄膜物理
|
|
課程名稱(英文) Course Title(English)
|
Thin Film Physics
|
|
學分數/時數 Credit Hours
|
3 /
3
|
|
必(選)修 Requirement / Elective Course
|
選修
|
|
授課老師 Instructor
|
呂英治
|
|
助教 Teaching Assistant
|
|
|
上課時間 Meeting Time
|
星期三，節次3、4、5
|
|
上課教室 Classroom
|
C301
|
|
Office Hours
|
呂英治：2244/8945
|
| 獲獎及補助情形 Awards and Grants |
|
|
| 聯合國永續發展目標 (SDGs跨域類別) Sustainable Development Goals, SDGs |
|
|
|
課程目標 Learning Objectives
|
|
薄膜材料廣泛應用於各產業領域，伴隨著薄膜製程技術的蓬勃發展，但一般學者較少討論相關製程物理及薄膜物理。本課程期望經由薄膜物理的介紹使學生更明白製程技術的科學基礎，也更了解薄膜材料及元件的物理特性，以做為未來就業及升學之需。
|
|
先修 ( 前置 ) 課程 Prerequisite
|
|
基礎材料科學
|
| 彈性教學規劃 Flexible Teaching/Planning Schedules |
| ＊本課程實施16+2週彈性教學方案，其中第17、18週之彈性規劃如下： |
|
|
課程大綱 Course Syllabus
|
| 週次 Week |
課程單元大綱 Unit |
教學方式 Instructional Method/Style/Teaching Style |
參考資料或相關作業 References or Related Materials |
評量方式 Grading |
|
1
|
氣體運動學與真空技術(一)
|
口授
|
|
|
|
2
|
氣體運動學與真空技術(二)
|
口授
|
|
|
|
3
|
薄膜的孕核與成長(一)
|
口授
|
|
|
|
4
|
薄膜的孕核與成長(二)
|
口授
|
|
|
|
5
|
電漿物理與化學(一)
|
口授
|
|
|
|
6
|
電漿物理與化學(二)
|
口授
|
|
|
|
7
|
專題討論(一)
|
課堂討論
|
|
|
|
8
|
專題討論(二)
|
課堂討論
|
|
|
|
9
|
物理氣相沉積法 (一)
|
口授
|
|
|
|
10
|
物理氣相沉積法 (二)
|
口授
|
|
|
|
11
|
物理氣相沉積法 (三)
|
口授
|
|
|
|
12
|
化學氣相沉積法(一)
|
口授
|
|
|
|
13
|
化學氣相沉積法(二)
|
口授
|
|
|
|
14
|
原子層沉積技術
|
口授
|
|
|
|
15
|
氣相磊晶薄膜製程
|
口授
|
|
|
|
16
|
薄膜物性
|
口授
|
|
|
|
17
|
專題報告(一)
|
課堂討論
|
|
|
|
18
|
專題報告(二)
|
課堂討論
|
|
|
|
單一課程對應校能力指標程度 The Degree to Which Single Course Corresponds to School Competence
|
| 編號 No. |
校核心能力 School Core Competencies |
符合程度 Degree of conformity |
|
單一課程對應系能力指標程度 The Degree to Which Single Course Corresponds to Department Competence
|
| 編號 No. |
類別 Category |
系核心能力 Department Core Competencies |
符合程度 Degree of conformity |
|
01
|
系所
|
具備基礎科學概念
|
0
|
|
02
|
系所
|
具備材料專業知識與技能
|
0
|
|
03
|
系所
|
能獨立從事材料相關研究，具實作、分析、總結實驗的能力
|
0
|
|
04
|
系所
|
具備閱讀英文科學論文，並做出適切評論的能力
|
0
|
|
05
|
系所
|
具備中英文科學寫作與發表的能力
|
0
|
|
06
|
系所
|
具備有效溝通與團隊合作的能力
|
0
|
|
07
|
系所
|
能理解專業及社會義務與責任
|
0
|
|
單一課程對應院能力指標程度 The Degree to Which Single Course Corresponds to College Competence
|
| 編號 No. |
院核心能力 College Core Competencies |
符合程度 Degree of conformity |
|
教科書或參考用書 Textbooks or Reference Books
|
|
館藏書名 Library Books
|
|
備註 Remarks
|
|
D. L. Smith, Thin-Film Deposition --- Principles and Practice, McGrawll-Hill, 1995.
|
※請尊重智慧財產權，不得非法影印教科書※
※ Please respect intellectual property rights and do not illegally photocopy textbooks. ※
|
教學方法 Teaching Method
|
|
教學方法 Teaching Method
|
百分比 Percentage
|
|
講述
|
70 %
|
|
討論
|
20 %
|
|
問題導向學習
|
10 %
|
| 總和 Total |
100 % |
|
成績評量方式 Grading
|
| 評量方式 Grading |
百分比 Percentage |
|
期中考
|
30 %
|
|
作業撰寫
|
20 %
|
|
個人口頭報告
|
30 %
|
|
課堂參與
|
20 %
|
| 總和 Total |
100 % |
|
課程大綱補充資料 Supplementary Material of Course Syllabus
|
|
|
|